SF₆气体有杂质和水分，要用检测的方法将SF₆气体里的杂质和水分的含量测出来。SF₆气体中的杂质和水分的含量是很微小的，但其危害性则很大，它足以改变SF₆气体的性能。

SF₆气体中的杂质和水分主要来自制造厂，在安装和运输过程中也会渗入到设备中去。但对SF₆气体的杂质和水分的检验主要在制造厂里进行。

SF₆气体的杂质有氟化硫的化合物，如SF₂、S₂F₂、SF₄、S₂F₁₀等；有氢、氧、碳等元素和氟与硫的化合物，如SOF₂、SO₂F₂、SOF₄、S₂F₁₀O、HF、SO₂、COS、CS₂；以及全氟烃类，如CF₄、C₂F₆等。

这些杂质和水分必须要按照IEC标准或国家规定的检测方法进行检测，在气体制造厂出厂前必须做检测报告，合格后才能出厂。但在气体填充和运输过程中也可能混入一些杂质；在条件允许的地方也可再次进行检测，按照GBJ45-90《电气装置安装工程高压电器施工及验收规范》第五章中的第5.3.2条的规定进行。

国家规定以下六种杂质在新SF₆气体中必须进行检测，即空气（氧、氮）、四氟化碳、水分、游离酸（用HF表示）、可水解氟化物（用HF表示）、矿物油。其含量按照国标《六氟化硫电气设备中气体管理和检测导则》GB8905-88的表1执行。对以上六项杂质的检测方法简述如下。

二、SF₆气体杂质和水分的检测方法

1、水分的测定方法

（1）重量法：定量的样品，通过吸湿机（P₂O₅或MgClO₄）后，精确称量其体重变化。这一方法是检测气体中水分的基本方法。

（2）电解法：样品通过电解池，水被P₂O₅膜层吸收同时被电解，再将此电解后的电流放大，从而测出水分的含量。

（3）露点法：当测试装置系统温度略低于样品气体中水蒸汽的饱和温度时，测试系统发出信号，经过放大输出，再根据露点值来确定水分的含量。含水测量仪就是利用这一原理做的。

2、空气（氧、氮）和四氟化碳（CF₄）的测定方法

用气相色谱法测量，可用分子筛法或Parapak—Q法做固定相，用热导检定器测定。热导校正系数值：CF₄为0.7，空气为0.4.

3、矿物油的测定方法

用红外分光光度计进行测定。

4、游离酸的测定方法

采用标准碱定量吸收SF₆气体的酸和酸的生成物，然后用标准酸来反滴定过量碱的酸碱中和滴定法。

5、可水解氟化物的测定方法

用比色分光光度分析法和氟离子选择电极等两种方法。

此外，还有SF₆气体中痕量杂质的检验，可参考这方面专门书籍。

SF₆气体中水分测试装置：HTCMS10型SF6智能微量水分测量仪（又名露点仪或微水仪）