测量SF6断路器内SF6气体的湿度是其主要的测量项目。由于密封垫等部位的老化，漏气率会增加，大气中的水分会向气腔内扩散而增加了气室内的湿度。水分将使其绝缘强度降低，且参与电弧作用下的分解反应，生成电弧副产物而腐蚀，老化某些结构材料。为此在《预规》中对于SF6的湿度作了规定，见表1.

表1 SF6气体湿度标准

允许值 （20℃V/Vppm）	断路器灭弧室气室	其他气室
大修后	150	250
运行中	300	500

测量湿度的仪器有多种，例如：国产的HTCMS10型SF6智能微量水分测试仪；HTCMS20型微量水分测试仪；瑞士的DP-3露点仪；美国的N-340型微水测定仪等，进口的设备往往随设备供货，并有使用说明。应该注意的是：对同一台SF6断路器应该用同一微分测试仪测试；测试宜在夏季进行；新装及大修后1年内复测1次（安装后交接试验也需测试），如湿度符合要求，则正常运行中1~3年（35kV以上）1次。