在电场的作用下，当电场强度足够大时，介质内部的电子带着从电场获得的能量，急剧地碰撞它附近的原子核离子，使之游离。因游离而产生的自由电子在电场的作用下又继续对其他原子或离子发生碰撞，这个过程不断地发展下去，使自由电子越来越多，在电场作用下定向流动的自由电子多了，如此，不断循环下去，终于在绝缘结构中形成了导电通道，绝缘性能就完全被破坏。这就是电击穿的机理。

电击穿的特点是：外施电压比较高：强电场作用的时间相当短便发生击穿，通常不到1s；击穿位置往往从场强最高的地方开始（如电极的尖端或边缘处）；电击穿与电场的形状有关，而几乎与温度无关。